LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统S 2400
LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统,通过对静电卡盘 (ESC,E-chuck) 的动态温度控制,为等离子刻蚀应用提供稳定的温度控制。LAUDA Semistat基于 Peltier 元件传热理论设计,与传统压缩机系统相比,可以节省高达90%的能耗。体积小,占地空间少,可选择安装在地板下的夹层中,节省洁净室空间。LAUDA Semistat 可以快速和精准地将过程温度控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。 产品特点: 无压缩机和制冷剂的低能耗系统,运行安静、振动小 带清洁干燥空气 (CDA) 吹扫接口,可防止冷凝水产生 结构紧凑,重量轻,占地面积小,非常适合…